Resistência de folha de metais

[dinesh hegde]

Oi, Por resistência de folha de matsl varia como a largura dos aumentos de metal. (De acordo com a resistência de folha teoria deve permanecer constante). Razões que eu poderia pensar, 1. Variação de espessura por causa da CMP. 2. Factor de redução da largura pode ser diferente para diferentes larguras de metais. Atenciosamente, Dinesh

 

[erikl]

Acho que o 2. item é correto: Mas não a "diferença" do "fator de redução" (que inclui sob ataque, erros de resolução óptica e outros processos dependentes de desvios), mas sua contribuição constante, que, por isso cria a largura-dependência. Para tamanhos de estrutura muito pequena, também a relação largura-dependente (contando negativamente) parte da pele não-condutor de óxido (Al2O3 em Al) pode contribuir para este efeito (largura dependência, devido ao relativamente diferente "contribuição" do lado oxidado paredes).

 

[dinesh hegde]

Desculpe, eu não conseguia entender segundo ponto. Por favor, explique mais.

 

[erikl]

[Quote = dinesh Hegde] Desculpe, eu não poderia compreender segundo ponto. Por favor, explique mais. [/Quote] não-nobres metais como o Al ou Cu (que são os constituintes principais do IC on-chip conexões) inevitavelmente (no processo de produção IC) usar uma fina camada de óxido (pele) em torno deles, que é um isolador e, portanto, não contribui para a condutância camada de metal (durante a criação através desta camada isolante está a ser removida por ataque químico, ou moído por acção de ultra-sons durante o processo de ligação de fio). O ness "grosso" dessa camada é da ordem de apenas 5 .. 10 nm, dependendo da temperatura ambiente e após o término do condicionamento de arame. Fino como esta camada não-condutora é, para as características do processo muito estreitas (digamos ≤ 45nm) a sua parte de parede lateral desempenha um papel em relação dependente da largura das ligações dos fios, de modo mais como a altura desses fios - at característica muito pequena tamanhos - às vezes é maior do que sua largura.

 

[sandeep_torgal]

Dinesh, eu sinto que é devido à CMP (polimento mecânico-químico). As linhas de cobre sofrem dishing e erosão devido à CMP. Por conseguinte, a resistência de folha varia. Deixe-me saber se você ainda não estão claros. Atenciosamente, Sandeep

 

[dinesh hegde]

Eu sinto tanto de pontos de contribuir para isso. Obrigado. Atenciosamente, Dinesh