Qual é o processo salicide?

C

coolguy

Guest
Como é o processo salicide? Existe algo chamado como processo de siliceto?
 
penso salicide é aquela em que eles usam o cobalto para cobrir todo o molde para reduzir a resistência. siliceto e é onde eles colocam a apenas cobalto sobre o poli portão.
 
silicidation é utilizada para diminuir a resistência do contacto isto é feito pela adição de alguns compostos de Si silicietos chamados "são também chamados de metal refractário, por exemplo Tnagestun (W)), este processo também evita a Al a partir de um curto-circuito a causa de drenagem / fonte do seu solubilidade em Si "este problema chamado pitting". silicietos são também adicionados ao polissilício formando polysides que diminuem a resistência polisilício. os procees siliciding de corte e de contacto é chamada de polissilício salicidation como no auto sillicide alinhadas. onde tanto o processo é feito em uma etapa ., tanto quanto eu poderia rememberthe processo é seguido pelo processo de aquecimento chamado RTA "anealing térmica rápida"
 
[Quote = coolguy] Como é o processo salicide? Existe algo chamado como processo de siliceto? [/Quote] Olá, Por favor, encontrar o documento em anexo (explicado pelo Prof Krishna Sareaswath) e você também pode se referir NEIL página Weste não-60 para mais informações
 

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