O que é "hóstia escrita direta"?

[shaq]

Queridos todos,

Como estou lendo correspondentes propriedades de MOS Transistors que é escrito por Pelgrom, et al.

Neste trabalho, ele observou que "a escrita wafer direta" (DWW).

Eu só procurou a palavra chave no Google, mas não encontrou nada.

Se alguém sabe sobre isso, plz me diga.

Obrigado !!!!! so so so so much

 

[truejiaqi]

Eu acho que poderia estar se referindo a exposição "feixe de elétrons" para tornar um padrão na bolacha, onde em vez de usar uma máscara e um pouco de luz UV, que utilizam feixes de elétrons para disparar sobre o wafer.Então você também precisa de um material químico especial, que é sensível a este e-beam.
Trata-se de lembrar da minha memória de volta na faculdade do curso sobre tecnologia de IC.Então, por favor confirme com outras pessoas ou fontes.
Boa sorte!