densidade de metal a nível chip.

M

manruru

Guest
Oi ....Tenho mais uma pergunta aqui ....
Por que vamos corrigir o desity nível chip completo para um valor máximo e min.
o que acontece se eu tiver a densidade do metal (%) superior ao máximo (%).

 
Olá,
Ela vai limpar RDC .... e também resultar em quebra de equipamentos, devido à alta densidade de metal ...
Paramjyothi

 
a densidade do metal (%) não pode ser mais do que o valor máximo

 
considerar você tem isenção para a densidade ou você tem ou ignorou-ur RDC não verificar a densidade ur ... u tem um significado distinto para verificar a densidade ....
O que acontece se você não cumprir os denisty.that necessário significa que você tem a densidade menor do que o necessário_O que acontece se você tem a maior densidade que o máximo ...muitos direita questão também

<img src="http://www.edaboard.com/images/smiles/icon_cry.gif" alt="Muito triste" border="0" />

Precisamos de uma solução ......

 
Sim, você tem uma opção verificador densidade específica ou switch na RDC, que verifica a densidade de Diff, Poly e todos os metais.Há um min e max% da densidade de todos eles e densidade é calculada com base em segmentos da área com base no design e na tecnologia.

Ex: A TSMC 130nm a densidade do metal é calculado por unidade de área 200x200um, Say 90x100um seu design, em seguida, ele calcula para 200x200 e dá a possibilidade de erros para o seu design.Esse erro pode ser eliminado por Metal preencher.

Para máximo valor de densidade% é geralmente muito elevado e é sempre cumpridas.

A densidade deve ser cumprido, porque ela está relacionada a problemas de confiabilidade, desempenho e rendimento do chip.Então, bom funcionamento dos dispositivos esta deve ser cumprida.

 
Eu acho superior a densidade metal max levará à produção de problema.Possivelmente alguns metais não será removido o suficiente.

 
manruru escreveu:

Oi ....
Tenho mais uma pergunta aqui ....

Por que vamos corrigir o desity nível chip completo para um valor máximo e min.

o que acontece se eu tiver a densidade do metal (%) superior ao máximo (%).
 
Densidade mínima de metal tem de ser cumprida, a fim de evitar corrosão por plasma de saturação.Quando a camada metálica é construída, eles geralmente usam este método para remover superior metal.
No entanto, pode haver uma densidade máxima de metal também.Metal regiões estão sujeitas a expansão térmica.Portanto, se você tem densidade elevados do metal, a dilatação pode quebrar o isolador causando shorts ou falhas chip.
É por isso que muitas fábricas não verificar a densidade máxima de metal RDC também.

 
Oi,

Não, isso é falso, com densidade superior a máxima não é bom em tudo, é ainda pior do que tê-lo menos min.

Você realmente precisa para ficar no min max limites /.
Se você tem muito metal, também, que o dielétrico entre as faixas de metal é mais provável que ficam esquecidos durante a fase de gravação.Isto levaria a uma queda dos fios de metal em si, resultando em shorts muito desagradável.

Se o seu chip é para algumas amostras, que o processo de engenheiros podem fazer algum esforço extra cuidar do que está acontecendo.Isto não seria possível a produção em massa chips.Todas as regras de densidade de ser corrigido.

Em termos de aplicação CAD, realmente depende do processo e do fornecedor PDK.O cheque pode ser parte da seleção RDC inicial ou mudar um botão extra / arquivo.Densidade controlos são baseados em janelas também.O tamanho da janela pode variar de um processo a um outro.

Em mais avançada tecnologia, como nós 65nm e além, cheques densidade estão ficando mesmo difícil ...Existem regras para fazer verificações gradiente entre janelas adjacentes, outras regras para verificar a densidade do metal em relação aos níveis múltiplos ...bem realmente um pesadelo ...Mas isso é muito importante para a DFM e produtividade.Yield é dinheiro

<img src="http://www.edaboard.com/images/smiles/icon_wink.gif" alt="Piscar os olhos" border="0" />Cheers,
Riad.

 
Esta é a razão principal para o metal fictício de preenchimento:

Polimento mecânico-químico (CMP) tem sido utilizado nos últimos anos para tornar planas dielétricos intercalar.CMP processos são sensíveis aos padrões de layout e isso pode causar em certas regiões chip para ter mais espessas camadas dielétricas do que outras áreas, devido às diferenças na topografia subjacente.Sob tais circunstâncias, enchem metal foi encontrado para ser uma das opções mais viáveis comercialmente na redução da espessura layout variação dielétrica dependente.Metal-fill padronização é o processo de preenchimento de grandes áreas abertas em cada camada de metal com um padrão de metal que seja aterrada ou flutuar, para compensar-driven variações padrão.Metal preencher certamente adiciona capacitância parasita.É importante permitir que designers com uma estimativa realista da capacitância parasitária causada pelo metal preenchimento de inserção.

 
o que acontece se eu tiver a densidade do metal (%) superior ao máximo (%).

-> Pode causar os componentes a ser curto, se não for devidamente gravado ...também pode causar a impedância total do dispositivo para diminuir ...e da capacitância global para diminuir ...

 
PODEMOS renunciar ao largo MAX E METAL ERROS DENSIDADE minutos, enquanto RUNNING RDC?

 
É melhor não fazê-lo.Densidade superior a Max vai levar a que o metal não pode ser desligado etch conforme o esperado.Menos de densidade mínima levará a mais-ataque.

 
Densidade mínima regra metal: A diferença de óxido de alturas
para uma dada região em um projeto chamado Planarity e é um importante factor que influencia o
produção de wafer.Quando um projeto tem regiões de baixa densidade do metal, a camada de óxido pode sag
consideravelmente.Polimento ajuda a melhorar planaridade, mas se a densidade do metal é particularmente
baixa, a quantidade de óxido de flacidez pode ser muito grande para vencer.Metal é necessário preencher a
manter uma densidade de metal uniforme em todo o chip em cada camada e, assim, assegurar
planaridade durante o processo de polimento mecânico-químico.Portanto, não há regra metal densidade mínima.

Max densidade metal: expansão térmica dos limites de metais a densidade máxima de metal.

 
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