contato via e tamanho

[dream_taker]

Por via de contacto e ter o tamanho exato (digamos == 0.22um), mas não o tamanho mínimo como Metal 1 deve ser> 0.23um (só tenho dado números. Pode ser em qualquer outra tecnologia).Existe alguma razão específica para isso?

 

[sergeyr77]

Isto é devido a problemas de rendimento.Na verdade, é o tamanho mínimo de abertura.
PS.Se você precisa de mais contato / via área (para reduzir a queda de tensão sobre ele, por questões elecromigration, etc número icrease) de contatos.
Última edição por sergeyr77 em 23 Fev 2005 10:16, editado 1 vez no total

 

[dream_taker]

Mas eles não dão em Design Rule que a sua a min.tamanho.Eles mencionam que tem tamanho exato.Se o seu problema de rendimento, então ele pode ser o tamanho mínimo, em vez de tamanho exato.Alguém tem idéia ABT esta regra?

 

[dreamteam]

Isso deve ser exatamente o tamanho, porque se eles apenas disse que o tamanho mínimo que seja, você poderia fazer uma grande via (que podemos imaginar 1u/1u).Neste caso, o estresse metal será muito importante e pode ter efeito negativo sobre o seu projeto.Em todos os fundary, através de ter o tamanho exato.

 

[uladz55]

Não é apenas um problema de estresse Metall.
Se você tiver conts e VIAs com tamanho diferente, você pode obter mais-etching problema para conts VIAs e com menor dimensão e estrutura danos.

 

[okguy]

Se você tem boa relação com a fabricação de wafers de onda que ele pode reduzir sua resistência para algumas aplicações críticas.
Mas, então, torna-se sob seu próprio risco e controle!

 

[Colbhaidh]

Para tecnologias 0.35um e menor, o contato e tamanhos Via geralmente são exatas.Isso é por causa do process processo em si pode variar o tamanho do contato, mas apenas cerca de /-0.05um.Isto é devido ao modo de aplanamento global (CMP) é usado para dielétricos metal inter e a formação de contato e através de fichas de tungstênio.
Se você variar o tamanho fora das regras de design, que teria graves implicações para o processo de plug tungstênio - por exemplo, ele pode não funcionar.Alguns foudries permitem alterar o dimemsion em uma única direção, apesar de eu não aconselharia que como isto pode causar problemas de rendimento (para além da borda do selo morrer).

 

[okguy]

Está certo.As 2 vezes que eu fiz foi apenas uma extensão em 1 direção e muito menos do que o dobro do tamanho do contato.Mas, ele ajudou a menor resistência de contato.

 

[kwkam]

No avanço da tecnologia, através de contacto são exatamente o tamanho é por causa do controle do processo e emissão de rendimento.No entanto, em algum processo bipolar de idade.através de contacto podem variar.